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点击图片查看原图VIEW Benchmark 624 的移动桥式结构和光学可使被测组件某始某终保持静止状态
X,Y,Z行程 (mm)：624 x 624 x 150，0.5 μm 选项：624 x 624 x 200
X,Y,Z 光栅尺分辨率：0.5 μm，选项： 0.1μm
工作台驱动系统：直流伺服马达XYZ,单一Y轴驱动和Y轴光栅尺
双Y-轴驱动及Y轴光栅尺
速度：X,Y - 200mm/秒; Z - 100 mm/秒
承载量：50 kg 均匀分布在玻璃平台上
100 kg l均匀分布在坐标轴上
光学系统：双重放大视场可交换式前置镜头，VIEW2.5X标配镜头
单一倍率，工作安装背光和视场交换式前镜产学研，标配为VIEW 1X变焦管
和2.5X镜头
计量软件:
可选项: Elements
可选项Measure-X
可选项软件模块:
区域多点自动ju jiao
连续捕获图像 (CIC)
某先某进的图像滤光和图像拼接，自定义
UI操作软件
MeasureFit Plus
SmartProfile
3D GD&T 评估软件
VMS 离线编程软件
数字输入/输出Digital I/O
Benchmark的应用范围包括：
半导体/电子
BGA, μBGA, CSP, 倒装xin片, MCM, bump-on-die
引线框，引线接合，柔性线路板，连接器
SMT元件贴装
锡膏/环氧数脂胶点
xin片载体和托盒
喷墨打印机墨盒
光纤组件和MEMs
数据存储
悬置件
滑块和悬臂组(HGA)
磁盘介质基板
精密注塑和机加工件
模具和刀具
某医某疗某设备
燃料喷射部件
手表组件